DeviceNet现场总线在MOCVD设备上的应用 

肖慧, 林博奇 
(中国电子科技集团公司第48研究所，湖南 长沙 410111) 
 

摘 要： 以MOCVD 设备为例，介绍一种基于DeviceNet 现场总线标准，采用远程DeviceNet 扫描仪SST-END-1-C2 与流量控制器、压力控制器构成现场总线控制网络。给出了DeviceNet 软件设计与控制实现。使用效果表明DeviceNet 是基于CAN 总线技术的一种低成本的通信链接，是一种低端网络系统，具有低成本、高效率、高可靠性的特点。
关键词： DeviceNet 现场总线；CAN 总线；MOCVD 设备中图分类号：TP336 文献标识码：A 文章编号：1007-3175(2014)07-0032-04

Application of DeviceNet Field Bus in MOCVD Equipment 

XIAO Hui, LIN Bo-qi 
（The Forty-Eighth Research Institution of China Electronic Science and Technology Group Company, Changsha 410111 , China） 
 

Abstract: Taking MOCVD equipment for example, this paper introduced a kind of standard based on DeviceNet field bus. The field bus control network consisted of the remote DeviceNet scanner, SST-END-1-C2, flow controllers and pressure controllers. This paper gave the software design of DeviceNet and control implementation. The use effectiveness of DeviceNet shows that DeviceNet is a kind of low cost communication link based on CAN bus technology, a kind of low network system with low cost, high efficiency and high reliability characteristics.
       Key words: DeviceNet field bus; CAN bus; MOCVD equipment

参考文献
[1] 夏继强，邢春香.现场总线工业控制网络技术[M].北京：北京航空航天大学出版社，2005.
[2] 张戟，陈昱，谢剑英.基于现场总线DeviceNet的智能设备开发指南[M].西安：西安电子科技大学出版社，2004.